| 名称 | 内容 | ||
| 测量范围 | Z轴(垂直) | 160μm | |
| X轴(水平) | 17.5mm | ||
| 分辨率 | Z轴(垂直) | 0.01μm/±20μm | |
| 0.02μm/±40μm | |||
| 0.04μm/±80μm | |||
| 测量项目 | 参数 | Ra、Rq、Rz、Rt | |
| 标准 | ISO、GB | ||
| 滤波器 | RC,PC-RC,Gauss,D-P | ||
| 取样长度(lr) | 0.25,0.8,2.5 (mm) | ||
| 评定长度(ln) | Ln= lr×n n=5 | ||
| 传感器 | 测量原理 | 位移式差动电感 | |
| 触针 | 天然金刚石,90锥角,5μm针尖半径 | ||
| 测力 | <4mN | ||
| 导头 | 红宝石,滑行方向半径40mm | ||
| 滑行速度 | lr=0.25, Vt=0.135mm/s | ||
| lr=0.8, Vt=0. 5mm/s | |||
| lr=2. 5, Vt=1mm/s | |||
| 返回 Vt=1mm/s | |||
| 示值误差 | 不大于±10% | ||
| 示值变动性 | 不大于6% | ||
| 电源 | 内置锂离子充电电池,用8.4V,1000mA充电器充电 | ||
| 外形尺寸 | 119×47×65mm | ||
| 重量 | 约380g | ||
| TR210主机 | 1台 | 
| 标准传感器 | 1支 | 
| 多刻线标准样板 | 1块 | 
| 电源适配器(220V,50Hz) | 1个 |