名称
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内容
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测量范围
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Z轴(垂直)
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160μm
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X轴(水平)
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17.5mm
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分辨率
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Z轴(垂直)
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0.01μm/±20μm
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0.02μm/±40μm
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0.04μm/±80μm
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测量项目
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参数
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Ra、Rq、Rz、Rt
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标准
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ISO、GB
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滤波器
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RC,PC-RC,Gauss,D-P
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取样长度(lr)
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0.25,0.8,2.5 (mm)
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评定长度(ln)
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Ln= lr×n n=5
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传感器
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测量原理
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位移式差动电感
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触针
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天然金刚石,90锥角,5μm针尖半径
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测力
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<4mN
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导头
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红宝石,滑行方向半径40mm
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滑行速度
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lr=0.25, Vt=0.135mm/s
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lr=0.8, Vt=0. 5mm/s
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lr=2. 5, Vt=1mm/s
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返回 Vt=1mm/s
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示值误差
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不大于±10%
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示值变动性
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不大于6%
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电源
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内置锂离子充电电池,用8.4V,1000mA充电器充电
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外形尺寸
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119×47×65mm
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重量
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约380g
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TR210主机 | 1台 |
标准传感器 | 1支 |
多刻线标准样板 | 1块 |
电源适配器(220V,50Hz) | 1个 |